超低溫恒溫槽應(yīng)用范圍：

1.對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：?jiǎn)尉磧艮D(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

2.對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。

超低溫恒溫槽操作規(guī)范：

1.槽內(nèi)加入液態(tài)介質(zhì)，使介質(zhì)液面低于工作臺(tái)板30mm。應(yīng)遵循以下原則：

  a.當(dāng)工作溫度低于5℃時(shí)，液體介質(zhì)一般選用無水乙醇或乙二醇；

  b.當(dāng)工作溫度在5～85℃時(shí)，液體介質(zhì)一般選用水；  

  c.當(dāng)工作溫度低于85～95℃時(shí)，液體介質(zhì)可選用15%甘油水溶液。

2.連通電源，開啟“電源”開關(guān)，開啟“循環(huán)”開關(guān)。

3.按SET鍵設(shè)定溫度，上排數(shù)碼管（PV）正常測(cè)溫，下排數(shù)碼管（SV）數(shù)據(jù)閃動(dòng)，表示儀表進(jìn)入溫度設(shè)定狀態(tài)。按△鍵設(shè)定值增大，按▽鍵設(shè)定值減小，溫度設(shè)定范圍在-5～100℃，持續(xù)按△鍵或▽鍵設(shè)定值會(huì)快速變化；zui后按一下SET鍵確認(rèn)設(shè)定溫度，儀器開始工作。當(dāng)上述操作完成后，儀器進(jìn)入溫度自動(dòng)控制狀態(tài)，測(cè)量溫度（PV）顯示槽內(nèi)實(shí)際溫度。

4.關(guān)閉“電源”開關(guān)，分開空氣開關(guān)，電源切斷。